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发布人涂生
公司深圳深奔贸易有限公司
职位副总经理
城市深圳市
发布时间2022/10/26 01:44
电话号码176********
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芯片分析问答2023.4.16失效分析 赵工 半导体工程师 2023-04-16 09:02 发表于北京Q1请教大家关于LU实验,Q part class2 目前看到很多报告都是3ea高温,3ea常温进行的,这个业界有啥说法嘛?A1高温情况最恶劣,只需做高温就好了,3颗电压激励,3颗电流激励;电压激励电流激励是会在同一颗上打的。Q2请教一下,WLCSP 2P2M的如果PI1和PI2之间怀疑有分层,SAT能扫出来吗?A2理论上应该没问题,可以先用Tmode试一下。如果不是面积太小或delam太轻微(比如Z方向上delam甚至小于0.1um)就应该可以。问题是如果怀疑有问题,那么无论SAT是否扫出来都需要做xsection验证,这个可能会有难度。Q3请教一下,对于单颗的IC器件在做可靠性的时候会做PCT,而amkor和SPIL的那边的官网上看,他们不做PCT的,做UHAST。这分别有什么考量, PCT相对UHAST是不是对wlcsp产品的破坏性要比UHAST要强?A3PCT 是100%湿度,在日常生活中不常见,且应力比uHAST强,所以现在很多公司都不采用PCT转而用uHAST。Q4这个是终端客户上板做高温老化发现塑封体破了个洞,decap后芯片没有烧点,有没有哪位遇到过类似的案例啊?A4没有烧点基本就是水汽了;如果不是批量问题,可能是打开包装在空气中放久了直接进高温烘箱测试了,可以低温烘干一下再测试。Q5塑封料一般回温后的有效使用期多久?A5各类型塑封料不一样,有24小时的,有三天的,具体要看塑封料供方出具的说明书,一般不能超过三天。Q6如果不良品和库存良品,都做了不开盖热点分析,都发现了热点。结果也无法作证是否异常,接下来还可以有什么方案来剖析比较好?都出现热点可以表征什么吗?A6首先确认好品是不是真的好品,因为热点分析反映在产品是某个面,产品由好多材料结构组成,同一个点材料差异,异常导致都有可能,接下来需要对比开盖了,好品和异常品开盖后不同结构的差异,包括性能差异,这时基本会用到探针测试,当然还有一种比较坏的情况,好品并不一定是好的,这时可以做worse condition 验证。Q7请问InGaAs做的热点真实性会受到哪些因素影响?为什么去金属层更准?或者更容易找到?A7金属层过多,会对异常点的亮点有遮挡,所以有时会建议做背面热点;InGaAs归根结底就两句话,一是Metal层不透红外,二是MOS管工作在截止区就会发光。Q8ESD前测试都OK ,打完就有管脚失效,现在开盖是crack的,这种crack可能是ESD造成的吗,还是其它什么原因?A8ESD能量较小,能引起局部瞬间高温,但一般不会导致整个芯片断裂,如果只有一颗发生,有可能是本身存在microcrack。可以再多测几颗试试。还有可以观察ESD damage-fuse的程度,看是否足以引起crack. 如果在ESD测试之后又进行ATE测试,这个过程也有可能加剧damage,甚至crack; 这种看起来像是应力释放或机械应力导致的crack或是peeling,比如划片带来的stress。Q9什么产品需要做LTOL?A9LTOL:(Low temperature operation life test):低温寿命试验,需要上电,基本与HTOL一样,只是炉温是低温,一般用来寻找热载流子引起的失效,或用来试验存储器件或亚微米尺寸的器件。相关标准:JESD22-A108B:Temperature, Bias, and Operating Life;JESD47K:Stress-Test-Driven Qualification of Integrated Circuits大多数可靠性实验表明,环境温度越高,器件退化越严重。热载流子注入效应的情况相反,温度越低,热载流子注入效应越明显。对应于LTOL来说温度越低老化加速越厉害。LTOL的测试条件,JESD47是参考Tj<50℃,但一般会用Ta=-40℃,低温仍然满足Tj<50℃,测试结果适用范围相对较广。车规验证,operation ambient temperature range也是从Ta=-40℃开始。来源:季丰电子赵工
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